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Semitron®XL20

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Semitron®XL20概述

Semitron®XL20是一种改性聚酰胺酰亚胺。 Semitron®XL20优化的PAI由三菱化学先进材料的研发团队开发。颜色为木炭/黑色,不透明。 Semitron产品线的开发为新工具设计者和有远见的最终用户提供了一个机会,可以增加每个晶片成功生产的设备数量,同时降低每个设备的消耗品成本。这可以通过增加固定环的使用寿命来实现。

Semitron®XL20的功能和优点

Semitron XL-20的优点
  • 降低每片晶圆的成本
  • 在某些过程中,性能优于PPS高达20倍
  • 高强度和刚度可减少边缘缺陷并提高均匀度
  • K(磨损)系数:> = 1000 x 10-10 in 3 -min / ft-lb-hr(根据QTM 55010)
  • 极限压力速度:4000 psi-ft / min(应用4:1安全系数; QTM 55010)
  • 优异的机械性能
  • 532°F的热变形温度
  • Semitron® Xl20
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