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웨이퍼 처리 (3559-WH)

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웨이퍼 처리(3559-wh)
  

Overview of Wafer Handling (3559-WH)

— 반도체 산업에서 실리콘 웨이퍼를 안전하게 취급하고 자동으로 이송하려면 고정밀 장비와 부품이 필요합니다. 실리콘 웨이퍼 취급에 사용되는 기계적 고정 시스템은 이러한 고가 품목의 손상 위험을 수반하므로 손실 위험을 최소화하는 솔루션을 찾는 것이 최우선 과제입니다. 정전기 웨이퍼 핸들링은 가능한 솔루션 중 하나이며 정전기 척을 사용하여 실리콘 웨이퍼에 인력을 활용합니다. 불행하게도 많은 공정이 이 방법의 사용에 적합하지 않기 때문에 엔드 이펙터, 웨이퍼 보트, 웨이퍼 가이드 및 진공 픽업 도구와 같은 구성 요소가 업계에서 널리 사용됩니다. 이러한 구성 요소는 일반적으로 Vespel®, Meldin®, Ultem®, PEEK, PFA 및 ESd 아세탈과 같은 재료로 만들어집니다. Professional Plastics는 이러한 재료와 웨이퍼 처리 장비 제조업체 및 반도체 팹에서 사용하는 기타 여러 고성능 재료를 보유하고 있습니다. 자세한 내용은 아래 자료를 클릭하거나 고객 서비스 부서에 문의하십시오.
  • Professional Plastics는 미국, 싱가포르 및 대만에 22개 지점을 두고 고객의 요구를 충족합니다.

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