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Semitron®CMP LL5

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Semitron®CMPLL5概述

Semitron® CMP LL5 是 MCAM-Quadrant Engineering Plastic Products 開發的一種新材料,可延長化學機械平坦化固定環的生產壽命。 Semitron CMP LL5 是一種增強型聚酯,具有適合半導體行業的耐磨特性和內在質量規格。實驗室模擬表明,與傳統 PPS 製成的擋圈相比,Semitron CMP LL5 可將擋圈壽命延長 5 倍之多,具體取決於工藝條件。新產品也是 PPS 的低成本替代品,適用於所有 CMP 工藝,非常適合用於具有鋼或陶瓷增強材料的環設計。

Semitron®CMPLL5的特性和優點

SEMITRON CMP LL5的好處
  • 持續達5倍比CMP機器中使用的標準TECHTRON PPS定位環更長
  • Semitron® Cmp Ll5
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