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Semitron®MPR1000

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Semitron®MPR1000概述

Semitron®MPR1000是一種新型工程材料,專為半導體應用而開發,更具體地用於真空室應用,例如Etch,CVD和Ion Implant中的應用。 MPR代表最大等離子電阻。該材料旨在取代真空室應用中的石英和陶瓷。

該材料是基於三個關鍵前提開發的:
1.使用壽命 - 與傳統塑料(如聚酰亞胺)相比,等離子室的使用壽命更長(在臭氧中比聚酰亞胺高25倍)
2.清潔 - 低離子金屬含量和低排氣
3.價值 - 與石英,陶瓷和工程塑料等真空室應用中使用的傳統材料相比,降低了總體使用成本

Semitron®MPR1000的特點和優點

Semitron®MPR1000的特點:
  • 優異的耐熱性
  • 低離子含量和低排氣
  • 等離子體室中的侵蝕率低
  • 優異的抗碎裂性,耐用性和可加工性
  • 最低成本的塑料解決方案,可在腔室中提供最高水平的性能
  • Semitron® Mpr1000
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