MPR1000 Semitron®

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DESCRIPCIÓN GENERAL de Semitron® MPR1000

Semitron® MPR1000 es un nuevo material de ingeniería desarrollado para aplicaciones de semiconductores y más específicamente para uso en aplicaciones de cámara de vacío como las que se encuentran en Etch, CVD e Ion Implant. MPR significa resistencia máxima de plasma. Este material está diseñado para reemplazar el cuarzo y la cerámica en aplicaciones de cámara de vacío.

El material fue desarrollado en base a tres premisas clave:
1. Longevidad: mayor vida útil en cámaras de plasma sobre plásticos tradicionales como la poliimida (hasta 25X sobre la poliimida en ozono)
2. Limpio: bajo contenido de metal iónico y bajo desgasificación
3. Valor: menor costo general de uso en comparación con los materiales tradicionales utilizados en aplicaciones de cámara de vacío, como cuarzo, cerámica y plásticos de ingeniería

CARACTERÍSTICAS Y BENEFICIOS de Semitron® MPR1000

Características de Semitron® MPR1000:

Excelente resistencia al calor

Bajo contenido iónico y bajo desgasificación.

Baja tasa de erosión en cámaras de plasma.

Excelente resistencia al astillado, durabilidad y maquinabilidad.

La solución de plástico de menor costo que también proporciona el más alto nivel de rendimiento en la cámara

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