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ウェハハンドリング(3559-WH)

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ウェーハハンドリング (3559-wh)
  

Overview of Wafer Handling (3559-WH)

— 半導体産業におけるシリコンウェーハの安全な取り扱いと自動搬送には、高精度の装置とコンポーネントが必要です。シリコンウェーハの取り扱いに使用される機械的保持システムは、これらの高額商品を損傷するリスクがあるため、紛失のリスクを最小限に抑えるソリューションを見つけることが最優先事項です。その解決策の一つとして、静電チャックによるシリコンウエハの吸着力を利用した静電ウエハハンドリングがあります。残念ながら、多くのプロセスはこの方法の使用に適していないため、エンド エフェクター、ウエハー ボート、ウエハー ガイド、真空ピックアップ ツールなどのコンポーネントが業界で広く使用されています。これらのコンポーネントは通常、Vespel®、Meldin®、Ultem®、PEEK、PFA、ESd アセタールなどの材料で作られています。 Professional Plastics は、ウエハー処理装置や半導体工場のメーカーが使用するこれらの材料やその他の多くの高性能材料を取り揃えています。詳細については、以下の資料をクリックするか、カスタマー サービス部門にお問い合わせください。
  • Professional Plastics は、米国、シンガポール、台湾に 22 か所の拠点を持ち、お客様のニーズに対応しています。

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