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웨이퍼 처리 및 정렬

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웨이퍼 취급 및 분류
  

Overview of Wafer Handling and Sorting

— 실리콘 웨이퍼 취급 및 정렬 시스템은 반제품 실리콘 웨이퍼의 처리를위한 준수, 고순도의 물질을 사용한다. 이러한 시스템들은 일반적으로 정의 된 Vespel 또는 그러한 Meldin뿐만 아니라, 울템, PEEK, 폴리이 미드 등과 같은 재료를 이용한다. 웨이퍼 핸들링 및 정렬 시스템은 일반적으로 적어도 두 개의 웨이퍼가 존재할 수있다 함유 웨이퍼 카세트와 반대로 한 다른 카세트 카세트에서 이동되거나하는 정렬 장치를 이용한다. 적절한 경우, 측정 스테이션은 정렬 장치에 존재할 수있다. 정렬 장치의 바로 근처에서, 카세트는이 목적을 위해 설계된다 잡지에 저장되며 카세트는 카세트 처리 장치를 사용하여 이동된다.

1984 년부터 '직업적인 플라스틱 마킹 웨이퍼 취급, 웨이퍼 정렬, 웨이퍼 검사, 웨이퍼 패키징 및 웨이퍼 플라스틱 등의 전체 범위를 제공하고있다

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