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カルレッツ半導体グレード

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Kalrez®半導体グレードの概要
カルレッツ半導体グレード：
カルレッツ®サハラ™8375
超高純度製品のサハラ·ファミリーの最新製品。この化合物は、最も重篤なドライプラズマ処理環境に耐えることを可能に白色充填剤の特別なブレンドを使用して製剤化される。この白色化合物がbothO2フッ素プラズマの低減量及び低い粒子生成のために最適化されている。高温性能、機械的特性、および低い圧縮永久歪特性のその組み合わせは、静的および動的乾式シール用途の両方のための優れた選択肢となり（例えば、ゲートバルブ、ドアシール、チャンバ蓋シール、等）。 300°C（572°F）の最大連続使用温度が示唆されている。全ての乾燥化学薬品およびプラズマの静的および動的なサービス。超純ポストクリーニングおよびパッケージングは​​化合物8375で作られたすべての部品の標準です。

カルレッツ®サハラ™8385
基幹産業のOEMとファブと提携継続的な努力の結果として開発された製品のサハラ砂漠の家族の中で、元の化合物。血漿および乾燥プロセスの化学的性質に優れた耐性がある。この83デュロメータ白化合物は、良好な機械的特性および優れた真空シール性能を有し、多くの静的および動的なアプリケーション（例えば、石英管シール、ドアシール、リップシールなど）に適している。 275°C（527°F）の最大c​​ontinuosサービス温度が示唆されている。全ての乾燥化学薬品およびプラズマの静的および動的なサービス。超純ポストクリーニングおよびパッケージングは​​化合物8385で作られたすべての部品の標準です。

カルレッツ®サハラ™8575
超高純度製品のサハラ·ファミリーの最新製品。この化合物は、特別にエッチ、CVDおよびstrippingprocessesでパフォーマンスを向上させるために処方、減少した汚染と長いシール寿命と所有コストの削減を提供しています。このホワイトパーフルオロエラストマー化合物は、新たな独自のポリマーおよび架橋システムを利用しています。これは、低減され、体重減少、パーティクルの発生とガス放出、ならびにasimproved弾性回復特性を有するカルレッツサハラ8375の優れた耐プラズマ性に基づいています。サハラプラズマ8575は、axcellent真空および長期シール性能を発揮する、wellas chlorinatedcleaningガス（例えば、CIF3）として両方のO2とフッ素プラズマに優れた耐性を提供しています良好な機械的特性を有しており、（静的および動的乾式シール用途の両方に適していますバルブドア、室の蓋、ガス入口、ECT）をスリットには280°C（536°F）の最大連続使用温度定格だ同様にこれらのプロセスで使用されるシールの典型的な要件を超えている。超純ポストクリーニングおよびパッケージは、プラズマ8575で作られたすべての部品の標準です。

カルレッツ®8101
乾式化学プロセスやプラズマ環境のための優れた圧縮永久歪み特性を提供しています。その高いサービス温度定格、低アウトガス特性、及び低硬度は、真空サービスおよび低応力/低シール力静的アプリケーションに適しています。 300°C（572°F）の最大c​​ontinuosサービス温度が示唆されている。全ての乾燥化学薬品およびプラズマの静的および低応力サービス。超純ポストクリーニングおよびパッケージングは​​化合物8101を使用して製造されたすべての部品の標準です

時々半導体アプリケーションで使用されるカルレッツ工業化合物：
カルレッツ®4079
低圧縮Oリング、ダイアフラム、シール、プロセス及び航空機産業で使用される他の部品と同様に、多くの湿潤および乾燥半導体プロセス環境における汎用使用のための化合物を設定する。それは、優れた耐薬品性、良好な機械的特性、優れた熱風老化特性を有するカーボンブラックを充填した化合物である。これは、有機、無機酸およびアルデヒドの低膨潤性を示し、温度サイクルの影響に対して良好な応答を有する。 316ºC（600ºF）の最大動作温度は、可能なより高い温度に短い小旅行で、推奨されます。静的および動的な、ウェットとドライ高温、プラズマ2 / C12）を除く。この化合物は、エチレン、熱水/蒸気用途において、または特定の熱い脂肪族アミンと接触させて使用することはお勧めしません

カルレッツ®2037
選択されたアプリケーションnは、製薬、半導体、および高純度のエラストマーを要求する他の市場に適している非ブラック充填化合物。化合物2037は、有機酸、無機酸、エステ​​ル、ケトン、およびアルデヒド低膨潤性を示す優れた耐薬品性を有している。それはまた、良好な機械的特性を提供しています。 220ºC（428ºF）の最高使用温度が推奨される。 200℃にドライケミカルアップで静的および動的サービス （428ºF）。

カルレッツ®4001
製薬、半導体、および他の市場での選択高純度用途に適しています未充填化合物。それは、酸素では良いパフォーマンスとオゾン含有環境での優れた性能を実証した。その高いサービス温度定格と低ハーネスは力の静的なアプリケーションを真空封止サービスと低stress.lowのために適しています。 275ºC（527ºF）の最大c​​ontinuosサービス温度が示唆されている。オゾンリッチメディアと低いシール力アプリケーションで静的サービス。超純ポストクリーニングおよびパッケージはオプションです

カルレッツ1050LF
化学プロセス産業で使用されるOリング、シール、及び他の部品のための汎用の化合物。そのは、特定のアミンの高い濃度が存在する選択半導体の湿式プロセス·アプリケーションでの使用をお勧めします。良好な熱水/蒸気、優れたアミン性、強化された圧縮永久歪特性を有する。 288ºC（527ºF）の最大推奨使用温度。特別なアプリケーション。湿ったアミン媒体または高温で低アウトガス。高での有機酸または無機酸での使用には推奨しません 温度。

Kalrez®半導体グレードの特長と利点
カルレッツ半導体グレードは専門のプラスチックから利用可能です。
  • 以下は、請求済み
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