Semitron®CMP LL5

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Semitron®CMP LL5の概要

Semitron® CMP LL5 は、MCAM-Quadrant Engineering Plastic Products が開発した新しい材料の 1 つで、Chemical Mechanical Planarization リテーニングリングの生産寿命を延ばします。 Semitron CMP LL5 は、半導体産業向けの摩耗特性と固有の品質仕様で開発された強化ポリエステルです。実験室でのシミュレーションでは、Semitron CMP LL5 は、プロセス条件にもよりますが、従来の PPS 製のリングよりも 5 倍もリング寿命を維持することが示されています。この新製品は、PPS に代わる低コストの代替品でもあり、すべての CMP プロセスでの使用に適しており、スチールまたはセラミックで補強されたリング設計での使用に最適です。

Semitron®CMP LL5の機能と利点

Semitron CMP LL5のメリット

CMPマシンで使用される標準テクトロンPPSの保持リングよりも長い5回まで持続

リンク：
Semitron LL5データシート
Semitron ESd 225アセタール
Semitron ESd 410C導電性ウルテム
Semitron ESd 420-ESD Ultem
Semitron ESd 480-ESd PEEK
Semitron ESd 500HR-ESd PTFE
Semitron ESd 520HR-ESd PAI

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