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Semitron® XL20

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Semitron® XL20 개요

Semitron® XL20은 개질 된 폴리 아미드-이미 드입니다. Semitron® XL20 Optimized PAI는 Mitsubishi Chemical Advanced Materials의 연구 개발 팀에서 개발했습니다. 차콜 / 블랙이며 색상이 불투명합니다. Semitron 제품 라인은 새로운 툴 디자이너와 미래를 생각하는 최종 사용자에게 웨이퍼 당 성공적으로 생산되는 디바이스 수를 늘리는 동시에 디바이스 당 소모품 비용을 줄일 수있는 기회를 제공하기 위해 개발되었습니다. 이것은 리테 이닝 링의 서비스 수명을 늘림으로써 달성됩니다.

Semitron® XL20의 특징 및 이점

Semitron XL-20의 장점
  • 웨이퍼 당 비용 절감
  • 일부 프로세스에서 PPS보다 최대 20 배 우수한 성능
  • 높은 강도와 강성으로 가장자리 결함 감소 및 균일 성 향상
  • K (마모) 계수 : 3 분 / ft-lb-hr에서> = 1000 x 10-10 (QTM 55010 당)
  • 제한 압력 속도 : 4000 psi-ft / min (4 : 1 안전 계수 적용; QTM 55010)
  • 우수한 기계적 성질
  • 532 ° F의 열 변형 온도
  • Semitron® Xl20
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