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Semitron®XL20

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Semitron®XL20概述

Semitron®XL20是一種改性聚酰胺酰亞胺。 Semitron®XL20優化的PAI由三菱化學先進材料的研發團隊開發。顏色為木炭/黑色,不透明。 Semitron產品線的開發為新工具設計者和有遠見的最終用戶提供了一個機會,可以增加每個晶片成功生產的設備數量,同時降低每個設備的消耗品成本。這可以通過增加固定環的使用壽命來實現。

Semitron®XL20的功能和優點

Semitron XL-20的優點
  • 降低每片晶圓的成本
  • 在某些過程中,性能優於PPS高達20倍
  • 高強度和剛度可減少邊緣缺陷並提高均勻度
  • K(磨損)係數:> = 1000 x 10-10 in 3 -min / ft-lb-hr(根據QTM 55010)
  • 極限壓力速度:4000 psi-ft / min(應用4:1安全係數; QTM 55010)
  • 優異的機械性能
  • 532°F的熱變形溫度
  • Semitron® Xl20
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