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Semitron®XL20

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Semitron®XL20の概要

Semitron®XL20は、変性ポリアミドイミドです。 Semitron®XL20最適化PAIは、三菱化学アドバンストマテリアルズの研究開発チームによって開発されました。チャコール/ブラックカラーで不透明です。 Semitron製品ラインは、新しいツールデザイナーと将来を見据えたエンドユーザーに、デバイスあたりの消耗品のコストを削減しながら、ウェーハあたりのデバイスの生産数を増やす機会を提供するために開発されました。これは、止め輪の寿命を延ばすことによって達成されます。

Semitron®XL20の機能と利点

Semitron XL-20の利点
  • ウェーハあたりのコストが低い
  • 一部のプロセスでは最大20倍のPPSを達成
  • 強度と剛性が高いため、エッジの欠陥が少なく、均一性が向上します
  • K(摩耗)係数:> = 1000 x 10-10 in 3 -min / ft-lb-hr(QTM 55010ごと)
  • 圧力速度の制限:4000 psi-ft /分(4:1の安全率が適用されています。QTM55010)
  • 優れた機械的性質
  • 532°Fの熱変形温度
  • セミトロン® Xl20
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